TCAD products


核心TCAD

新思科技的TCAD提供了一整套完整的模拟工具,其中包括行业领先的工艺与器件仿真工具,以及一个强大的图形化模拟环境,用于管理模拟任务和分析模拟结果。新思科技的TCAD工艺与器件模拟工具支持一系列广泛的器件应用,如CMOS器件,功率器件,存储器件,光电子器件,模拟/射频(RF)和激光器件等。此外,新思科技的TCAD还可以在建模和参数提取之间建立联系,可以给出优化芯片性能所需的关键寄生信息。

生产用TCAD(TFM)

Sentaurus TFM套装包括PCM Studio和PCM Library,它提供了一个强大的数据分析环境,利用TCAD模拟的数据获取工艺经验模型(PCM: Process Compact Model), 利用经验模型中工艺参数与器件电学性能之间关系,分析工艺窗口, 能够用来快速识别并分析生产过程中参数的变化导致器件特性的改变,从而可以帮助我们快速分析出成品率损失的因素。通过系统化的TCAD模拟,PCM采用一组解析函数(Compact Model)统计并定义了工艺变量和器件特性之间的关系。

可生产性设计(PA-DFM)

新思科技的PA-DFM产品家族可用于解决设计中要考虑的两个主要波动来源,一个来自应力邻近效应,另一个来自制造工艺参数的波动。并且在模拟过程中使用了精确的物理模型。PA-DFM产品家族的核心产品Seismos和Paramos能够让设计者在设计中预先准确地考虑到制造过程中工艺及器件参数的波动,从而不需要对当前的设计验证流程做出重大修改。